「松栄産業株式会社」は、半導体製造装置などに不可欠なウェット系と呼ばれる試薬･溶剤等の給排水にかんする装置および配管の設計、製造、保守を手掛けています。通常、半導体や電子部品、基板などの製造プロセスでは何度も洗浄やエッチングが行われています。そこでは純水をはじめ複数の化学溶剤が用いられるため、ウェット系の給排水機構には耐腐食性、耐薬品性が高い塩ビやフッ素樹脂による筐体や専用配管が求められます。そこで、当社では塩ビ等の樹脂加工に関する独自の技術やノウハウを活用して、半導体製造プロセスにおけるインフラソリューションを提供しています。
半導体デバイス製造周辺装置、
他受注製作品 設計・製作
半導体製造プロセスに於けるウエハーの洗浄・エッチング装置、
各石英管の洗浄装置、それに伴う薬品供給装置の製作を承ります。
- 自動洗浄機
- 手動洗浄機
- 炉芯菅、ベルジャー洗浄機
- ドラフト付き流し
- 薬品供給装置
- 薬品供給フィルタ/バルブユニット
- 薬品供給バルブマニフォルドボックス
- 薬品供給直前混合ユニット
- 純水昇圧装置
他 お客様ご要望にお応え致します。
薬液系、ガス系レイアウト配管
設計・施工
試作ライン・生産ライン共に設計・施工・改造及び保守も承ります。
- 薬品供給二重配管工事
- 純水供給配管工事
- 処理系廃液配管工事
- 冷却水配管工事
- 緊急冷却水循環システム
- 各種、貯液/回収処理タンク
- ドライエアー/Ｎ２ガスレイアウト配管
- 特殊ガス、クリーンルーム内レイアウト
- 薬液供給配管総合メンテナンス工事
他 お客様ご要望にお応え致します。
電装部 設計・加工・組立
機内配線、クリーンルーム内、薬品供給室内の信号線敷設及び電装盤製作なども承ります。
- 生産設備機内配線 盤設計からソフトまで
- 生産設備機内配線改造/現場工事対応
- 生産設備モニター盤、リモート盤設計製作
- 各種電源、信号中継ボックス設計製作
- クリーンルーム内 信号線敷設接続工事
- 屋外対応SUS/塩ビ(タフ)計装盤設計製作
- 大容量ストレージタンク液量管理設計施工
- 製造事業社殿電装総合メンテナンス工事
- エアーオペレーション計装配管工事
他 お客様ご要望にお応え致します。
各種樹脂、ステンレス加工品
設計・製作
樹脂・ステンレス製の多種多様な部品類
塩ビ製タンク・ステンレス槽など設計・製作承ります。
- 樹脂・ステンレス製筐体製作
- 樹脂・ステンレス製品機械加工
- 樹脂・ステンレス製品溶接加工
- 樹脂・ステンレス製品曲げ加工
- 樹脂・ステンレス配管溶接加工
- ステンレス製品レーザー加工
- 塩ビ円筒タンク製作
- ステンレス槽製作
他 お客様ご要望にお応え致します。
